洁净度烘箱
洁净烘箱是专为满足半导体和电子元件制造商的严格要求而设计。采用水平横流送风循环,提供良好的均匀性和温度控制,快速升温和恢复时间,可确保优异的温度均匀性,并满足洁净度的要求。实现在苛刻的生产及实验室应用中。该产品具有公认的稳定性和可靠性。
循环气流不断通过高温***过滤器,以消除箱条件或工作负荷带来粒子。高温***过滤器***过滤达99.99%的0.3 micronparticles效率。
1、执行GB/T 30435-2013 电热干燥箱及电热鼓风干燥箱。
2、参考MIL-PRF-83990A PERFORMANCE SPECIFICATION OVEN, THERMAL DRYING, ELECTRIC;
3、参考NFPA 86 Standard for Ovens and Furnaces;
4、参考ISO 14644-1 Cleanrooms and associated controlled environments。
待议
温度范围 | 常温+10~+300℃ |
温度波动度 | ±1.0℃ |
温度均匀度 | ±2℃ |
升温速度 | 室温升至100℃用时在20min内 |
降温速度 | 炉内温度从100℃降至40℃用时在30min内 |
内部尺寸 | W400×H450×D400mm |
设备内洁净度 | Class100(0.3) |
箱内结构 | 箱体结构:箱体采用拼焊装结构; 外壳材料:优质冷轧钢板静电喷塑; 内壁材料:SUS304不锈钢板; 保温材料:超细玻璃棉; 大门密封:采用硅胶条; 箱内搁板:标准配置6套,增加搁板另收费; 进气和排气孔:在箱体设置进气和排气孔; 配置充氮气口,设备启动即充入氮气,避免配件氧化。 |
空气调节 | 空气调节方式:强制通风内循环平衡调温(BTC); 空气循环装置:内置式空气调节装置,循环风道,离心风机; 加热方式:优质镍铬合金加热器。 |
箱 门 | 单门,左开,双层; 高强度带锁定式把手; 合页:特殊定制不锈钢合页。 |
主 要 组 件 | 温度控制器:PLC+温度控制模块; 交流接触器:正泰; 漏电断路器:正泰; 超温保护器: YUDIAN; SSR:YUDIAN; 搅拌电机:协骏; 马达保护器:正泰 中间继电器:OMRON; 按钮开关:IDEC。 |
控 制 器 功 能 | 采用PLC+专用温度控制模块逻辑和温度控制,液晶显示彩色人机接口触控式莹幕直接按键型可程控制器,中文表示,高对比附可调背光功能之LCD液晶显示控制器。 |
安全保护措施 | 工作室独立超温保护; 加热回路短路保护; 鼓风电机过载; 漏电断路保护; 接地保护; 加热器断路等 |

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